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超純金屬的制備和檢測方法
http://m.elbaloto.com
時間:2019/12/21 10:32:55 來源:上海有色 點擊次數(shù):574
超純金屬,指的是相對高純度的金屬,一般指金屬純度到達(dá)純度9以上的金屬,物理雜質(zhì)的概念才是有意義的,任何金屬都不能到達(dá)肯定純。“超純”具有相對的意義,是指技能上到達(dá)的標(biāo)準(zhǔn)。因為技能的開展,也常使“超純”的標(biāo)準(zhǔn)晉級。
材料的純度對其功能,特別是微電子學(xué)、光電子學(xué)功能影響很大,現(xiàn)代高技能產(chǎn)業(yè)要求制備出超純金屬以利于制造高功能器材。例如曩昔高純金屬的雜質(zhì)為ppm級(即百萬分之幾),而超純半導(dǎo)體 材料的雜質(zhì)達(dá)ppb級(十億分之幾),并將逐漸開展到以ppt級(一萬億分之幾)表明。
“超純”的相對名詞是指“雜質(zhì)”,廣義的雜質(zhì)是指化學(xué)雜質(zhì)(元素)及“物理雜質(zhì)”(晶體缺陷),后者是指位錯及空位等,而化學(xué)雜質(zhì)是指基體以外的原子以代位或填隙等方式摻入。但只當(dāng)金屬純度到達(dá)很高的標(biāo)準(zhǔn)時(如純度9以上的金屬),物理雜質(zhì)的概念才是有意義的,因而現(xiàn)在工業(yè)生產(chǎn)的金屬仍是以化學(xué)雜質(zhì)的含量作為標(biāo)準(zhǔn),即以金屬中雜質(zhì)總含量為百萬分之幾表明。比較清晰的辦法有兩種:一種是以材料的用處來表明,如“光譜純”、“電子級純”等;一種是以某種特征來表明,例如半導(dǎo)體材料用載流子濃度,即一立方厘米的基體元素中起導(dǎo)電效果的雜質(zhì)個數(shù)(原子/厘米)來表明。而金屬則可用剩余電阻率(ρ4.2K/ρ300K)表明。
實際上純度以幾個“9”()來表明(如雜質(zhì)總含量為百萬分之一,即稱為6個“9”或6),是不完整概念,如電子器材用的超純硅以金屬雜質(zhì)核算,其純度相當(dāng)于9個“9”,但如計入碳,則可能不到6個“9”。
制備辦法
超純金屬的制備有化學(xué)提純法如精餾(特別是金屬氯化物的精餾及氫復(fù)原)、提高、溶劑萃取等和物理提純法如區(qū)熔提純等(見硅、鍺、鋁、鎵、銦)。其間以區(qū)熔提純或區(qū)熔提純與其他辦法相 結(jié)合最有用。
因為容器與藥劑中雜質(zhì)的污染,使得到的金屬純度遭到必定的約束,只有用化學(xué)辦法將金屬提純到必定純度之后,再用物理辦法如區(qū)熔提純,才能將金屬純度說到一個新的高度。能夠用半導(dǎo)體材料鍺及超純金屬鋁為例闡明典型的超純金屬制備及檢測的原理。
提純金屬時,雜質(zhì)的分配系數(shù)對提純金屬有嚴(yán)重的聯(lián)系,因為鍺中大部分雜質(zhì)的分配系數(shù)都小于1,所以鍺的區(qū)熔提純是非常有用的。半導(dǎo)體材料的純度,也可用電阻率來表征。區(qū)域提純后的金屬鍺,其錠底表面上的電阻率為30~50歐姆·厘米時,純度相當(dāng)于8~9,能夠滿意電子器材的要求。但關(guān)于雜質(zhì)濃度小于[KG2]10原子/厘米[KG2]的探測器級超純鍺,則尚須通過特殊處理。因為鍺中有少量雜質(zhì)如磷、砷、鋁、鎵、硅、硼的分配系數(shù)接近于1或大于1,要加強(qiáng)化學(xué)提純辦法除掉這些雜質(zhì),然后再進(jìn)行區(qū)熔提純。電子級純的區(qū)熔鍺錠用霍爾效應(yīng)丈量雜質(zhì)(載流子)濃度,一般可達(dá)10~10原子/厘米。經(jīng)切頭去尾,再利用屢次拉晶和切開頭尾,一向到達(dá)所要求的純度(10原子/厘米),這樣純度的鍺(相當(dāng)于13)所作的探測器,其分辨率已接近于理論數(shù)值。
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